Вакуумная присоска серии ZP3P
Серия ZP3P, продольный вакуумный вывод с буфером
Продольный вакуумный вывод серии ZP3P с буфером представляет собой направляющую потока частиц, предназначенную для условий высокого вакуума. Его основной функцией является обеспечение эффективного и стабильного вывода продольных пучков частиц. В то же время он оптимизирует динамику передачи частиц посредством интегрированных буферных структур для удовлетворения потребностей прецизионных промышленных процессов.
Основные технические характеристики
Архитектура продольной вакуумной экстракции
Конструкция аксиально-симметричного вакуумного канала принята для обеспечения направления потока частиц вдоль главной оси оборудования, предотвращения искажения поля потока, вызванного боковой вытяжкой, и поддержания целостности воздушного потока в вакуумной камере.
Встроенный буферный механизм
Встроенный многоступенчатый динамический буферный блок осуществляет предварительное регулирование потока частиц высокой энергии посредством бесконтактного регулирования градиента энергии, уменьшает расхождение фазового пространства частиц и обеспечивает лучшую коллимацию пучка частиц для последующих процессов.
Совместимость с вакуумом
The entire structure meets the ultra-high vacuum (UHV) material specifications and sealing standards, and the key components are passivated on the surface to suppress the outgassing effect, ensuring long-term stable operation at a vacuum degree of 10-5 Pa and above.
Оптимизация динамики трансмиссии
Согласованная конструкция буферного модуля и канала вывода реализует активное сжатие энергетического спектра частиц, эффективно подавляет потери на рассеяние и улучшает качество луча, что особенно подходит для сценариев применения со строгими требованиями к монохроматичности.
Адаптивность промышленной системы
Стандартный фланцевый интерфейс поддерживает модульную интеграцию и может легко подключаться к различным вакуумным технологическим камерам. Конструкция его ненамагниченной структуры еще больше расширяет возможности его применения в средах, чувствительных к магнитному полю.
